HORIBA/堀場-液體質量流量計/控制器的產品詳情：

日本HORIBA LF系列質量流量計是一款專門測量微小液體的質量流量控制器。該系列液體質量流量控制器中的流量傳感器由與毛細管接觸的電子冷卻元件（珀爾帖元件）以及幾個溫度檢測元件組成。當液體流動時，傳感器檢測對應流量的溫升并以流量顯示，與熱交換不同，這種冷卻方法能夠測量低沸點液體的流量。此外，該方法還能防止由于二次排放（汽化）的影響而產生的干擾問題，使精確的流量測量成為可能。

● LF-F/LV-F系列質量流量控制器利用1種液體進行了流量校正 (請預先指定所使用的液體)。

● 不能檢測含有固體物的液體。

● 如果混合液中混合比會發生變化時，請預先進行咨詢。

● LV-F系列質量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時，請在一次端(入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。

● LF-F類型質量流量控制器根據流量量程，可以適用到最大值，0.1Pa?s。有關高粘度的液體請預先進行咨詢。

● 以SEMI E56-1296 為準。

● 進行測量?控制的液體溫度如果低于環境溫度時，使用時請把溫差控制在10℃以 內；如果高于液體溫度時，使用時請把溫差控制在3℃以內。

● 粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。

HORIBA/堀場-液體質量流量計/控制器的產品規格/型號：

更多產品：

SEC-N100 系列數字式質量流量控制器

流量控制范圍10 SCCM~1000 SLM ，流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執行。高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度，配備數字校正功能，實現設定點精度全流量范圍快速響應：1秒內完成全量程配備多氣體/多量程功能，允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。

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HORIBA堀場_流量計&配件_MF-FP10N、MF-FS10N、MF-FA10N、（500L/min/1000L/min）

HORIBA堀場_流量計&配件_red-y compact Series、GCM、GCR、PV-1000（MO/MC）

HORIBA堀場_流量計&配件_PV-2000（MO/MC）、PCU-2100、EC-5104、EC-5105

HORIBA堀場_流量計&配件_EC-5202、UR-Z7□2M（-B）、UR-Z7□4M（-B）、GR-312F

HORIBA堀場_流量計&配件_GR-314F、GR-317F（-EPV）、 LD05/LD10/LD20、 LW5/LW10/LW20

HORIBA堀場_流量計&配件_ LM05/LM10、 LM05W/LM10W、XF-122 XF-127、XF-132 XF-137

HORIBA堀場_流量計&配件_XF-124、XF-134、LF-F□0M-A、LV-F□0PO LV-F□04PO

HORIBA堀場_流量計&配件_LV-F□0MO LV-F□04MO、LSC Series、VC-1420＋SEF、MV-2000+XF

HORIBA堀場_流量計&配件_VG Series、MICROPOLE System、QL Series、QL Series

HORIBA堀場_流量計&配件_IR-302M、IR-304M、IR-305M、IR-400 Series

HORIBA堀場_流量計&配件_RU-1000、TE-1100、OPGU-2100、OPGU-2200

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• SEC-E40質量流量控制器